当超纯水机的水箱为空时，可以采取以下步骤进行处理：
1、 检查水源：确认水源是否充足，比如连接的自来水管道是否有水，或者前置的储水桶是否已满。如果水源存在问题，需解决水源问题，如修理水管或等待储水桶自动补水。
2、 更换或添加纯水：如果超纯水机是使用桶装水，那么当水箱为空时，需要更换新的水桶或添加纯水。确保新水桶或添加的纯水符合超纯水机的使用要求。
3、 清洗水箱：长时间使用可能会导致水箱内积累一些污垢或杂质。在更换水桶或添加纯水之前，建议对水箱进行清洗，以确保超纯水的质量。
4、 检查机器连接：检查超纯水机的各个连接部分是否紧固，没有漏水现象。特别是水桶与机器的连接处，确保密封良好。
5、 检查机器状态：确保超纯水机处于正常工作状态。如有故障提示或异常声响，需要根据超纯水机的说明书或联系售后服务进行维修。
6、 重新启动机器：完成上述步骤后，重新启动超纯水机，观察其是否能正常工作并产生超纯水。
在处理超纯水机水箱空的问题时，务必遵循机器的使用说明和操作规程，避免误操作导致机器损坏或影响超纯水的质量。如果问题复杂或不确定如何处理，建议联系专业的售后服务人员协助解决。