超纯水和蒸馏水都是经过处理的纯净水，它们的区别主要体现在水质的纯度和制备过程上。
超纯水的纯度更高。超纯水是指除去水中几乎所有杂质的水，通常它的电导率非常低，接近于零。超纯水中的杂质主要包括溶解的无机盐、有机物、微生物、悬浮物等，这些杂质的含量非常微量甚至达到追溯级别。相比之下，蒸馏水的纯度较低，虽然也能去除一部分杂质，但是总体来说仍然含有少量的杂质。
制备过程上有所不同。超纯水的制备过程通常包括多步骤的处理工艺，如预处理、反渗透、阳离子交换、阴离子交换、电去离子等，以保证水质的纯度。而蒸馏水的制备主要是通过蒸馏方法，即将水加热至沸腾，蒸发的水蒸气再凝结为液体水，这个过程可以有效去除一部分杂质。蒸馏水的制备相对简单，但是其纯度较超纯水要低。
超纯水和蒸馏水的区别主要在于纯度和制备过程。超纯水的纯度更高，制备过程复杂多步骤，蒸馏水的纯度较低，制备过程相对简单。
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