半导体制造过程中,涉及到了多种工艺,其中最为重要的便是六大工艺:
1. 晶圆制备工艺:这是半导体制造的第一步,通过对硅单晶料进行切割、抛光等加工,制备成具有高度纯度和平整度的晶圆。
2. 沉积工艺:在晶圆上沉积各种材料,以形成各种必要的结构和电路。
3. 光刻工艺:利用掩模将光源照射到晶圆上,形成所需的图案和结构。
4. 蚀刻工艺:通过化学反应将不需要的材料蚀刻掉,留下所需的结构和线路。
5. 清洗工艺:通过去除蚀刻后的残留物,保证晶圆表面的干净和平整度。
6. 封装测试工艺:将芯片封装成器件,测试其性能和可靠性,最终形成成品半导体器件。