半导体超纯水指标范围是多少

　　半导体超纯水的水质指标范围如下：

　　电阻率：大于18、2兆欧（25摄氏度）。

　　TOC（总有机碳）：小于1到10ppb。

　　DO（溶解氧）：小于1到10ppb。

　　Particle（颗粒）：0.05微米小于200个/升。

　　离子含量：大部分是小于20到50ppt。

　　细菌检测：无。

　　这些指标可能会根据半导体芯片的大小和线径的不同而有所变化。纯水和超纯水的水质标准可能因应用领域和用户需求而有所不同，所以在实际应用中，需要参考相关标准和规定来确定具体的水质指标范围。